IEC 62047-8:2011-03
Halbleiterbauelemente -
Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten